软件全称: 刻蚀工艺的三维表面演化仿真软件
软件简称: 刻蚀工艺仿真软件
版本号: V2.0
著作权人(国籍): 清华大学:中国
登记号: 2013SR119447
分类号: 30108-4000 / 辅助设计与辅助制造(CAD/CAM)软件 - 通信设备、计算机及其他电子设备制造业
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