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软件全称： 全自动感应耦合等离子体刻蚀机自动控制系统
软件简称： 刻蚀机自控系统
版本号： V1.0
著作权人（国籍）： 北京金盛微纳科技有限公司:中国
登记号： 2012SR021850
分类号： 30208-2600 / 工业控制 - 化学原料及化学制品制造业
首次发表日期： 2011-08-26
登记批准日期： 2012-03-21
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