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软件全称： 自动硅片脱胶机控制系统
软件简称： 硅片脱胶机控制系统
版本号： 4.0
著作权人（国籍）： 张家港市超声电气有限公司:中国
登记号： 2012SR052082
分类号： 30208-2900 / 工业控制 - 橡胶制造业
首次发表日期： 2011-01-05
登记批准日期： 2012-06-18
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