软件全称: CFDR 硅片装片控制系统
软件简称:
版本号: V1.0.0
著作权人(国籍): 创富东日(深圳)科技有限公司:中国
登记号: 2017SR472685
分类号: 30200-3600 / 行业应用软件 - 专用设备制造业
首次发表日期: 2016-09-10
登记批准日期: 2017-08-28
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