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软件全称： P15V等离子蚀刻及清洁系统PLC软件
软件简称： P15V等离子系统PLC软件
版本号： V1.0
著作权人（国籍）： 珠海宝丰堂电子科技有限公司:中国
登记号： 2011SR061987
分类号： 10102-7500 / 嵌入式操作系统 - 研究与试验发展
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